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设计无尘车间的时候湿度和温度有哪些要求

作者:点击:2220 发布时间:2020-12-23

    温度和湿度是四川无尘车间设计和施工中必须考虑的重要因素。无尘车间的温湿度主要根据工艺要求确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑人的舒适性。

    一般来说,由于加工精度越来越高,无尘车间对温度波动范围的要求越来越小。例如,在大规模集成电路生产的光刻和曝光过程中,作为掩模材料的玻璃和硅的热膨胀系数的差别越来越小。对于直径为 100um 的硅片,温升 1 度将导致 0.24um 的线性膨胀。因此,必须保持±0.1 度的恒定温度。同时,湿度值普遍偏低。出汗后,产品会受到污染,特别是在怕钠的半导体车间。此类车间不得超过 25 度。

    高湿度会导致更多问题。当相对湿度大于 55% 时,冷却水管壁会发生冷凝。如果发生在精密器件或电路中,会引起各种事故。相对湿度为 50% 时易生锈。另外,当湿度过高时,附着在硅片表面的灰尘会被空气中的水分子化学吸附,难以去除。相对湿度越高,粘附力越难去除。但是,当相对湿度低于 30% 时,由于静电的作用,颗粒很容易吸附在表面上。同时,大量半导体器件容易发生击穿。硅片生产的zui佳温度范围为 35-45%。

    对于四川无尘车间设计湿度和温度要求,苏蓉净化工程公司就讲解到这里了,更多关于无尘车间设计的问题请关注我们!